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真空度測試設備

VC-VIII真空度測試系統
發布時間:2016/6/19 14:17:32 點擊數:2654

       在上世紀九十年代初,我公司的資深專家在冷陰極磁控管放電方法的基礎上,提出了通過測量放電電荷量的方案來測量真空滅弧室的真空度。經過長期、大量嚴謹的科學實驗,“試驗數據”證實了方案的準確性和可靠性,并以此為基礎研制了VC系列真空度測試儀。由于其優異的性能,國內的真空滅弧室生產廠家無一例外地地使用了VC系列真空度測試儀作為其產品出廠檢驗的檢測設備。
       近年來,隨著真空滅弧室產品向小型化和低成本發展,很多真空滅弧室生產廠家的產品外形尺寸及材料發生了較大變化,其中最典型的就是屏蔽罩由無氧銅改變為不銹鋼或其它替代金屬材料。因為材質的改變,使真空測量過程中觸頭附近的磁場的分布發生了改變,磁場強度減小,難以滿足測量所需要的磁場,以致不電離,放電電流為零。真空滅弧室小型化后,滅弧室的額定開距只有2mm左右,按現有的高壓輸出值,首次加載高壓就會發生擊穿,極易損壞滅弧室。
       針對上述情況,我公司研發了針對每種滅弧室的全自動電場和磁場配置算法,即:依據滅弧室的額定開距配置電場,依據電場、滅弧室的直徑和屏蔽罩的材料來配置磁場,使其達到電離的條件(著火條件)。大量的實驗數據說明:直徑區間于Φ30mm~Φ200mm的滅弧室,真空度在1.0x10-5~1.0x10-1Pa范圍內,使用此項       技術進行磁控放電均能可靠地得到電離電流,在標定后能準確計量真空度值。
       目前國際水平:僅能計量直徑>Φ60mm,屏蔽罩材料為銅的真空滅弧室的真空度。

       主要功能特點
       測試過程自動化,人工掃碼后,系統自動配置測試參數,只需點擊開始即可完成測試。
       軟件包含產品型號數據庫,測試時對應的高壓值和磁場值,電離電流和真空壓力的轉換關系表達式等必備參數。管理測試結果,包含滅弧室的型號和序號(條碼),測試時間,電離電流值,壓力值等。
       測試數據可保存,方便后期查看或打印報告。
       磁場及智能化調節模組可根據配置參數,對不同材質及大小的滅弧室,通過控制充電幅值來控制磁場能量,達到其產生電離的條件。  
       自調節高壓發生系統可對應不同開距的滅弧室,按照系統指令在0-28Kv的范圍內智能調節。
       高精度電流信號采集系統實現對測試過程的信號高速采集,并處理數據,傳輸給計算機系統。
       特制單工位螺線管線圈機構對于固定已拉開距的真實滅弧室。
       首創的電離電荷采樣技術。
       測試過程采用兩次啟動高壓的方法扣除漏電電流。
       通過高壓擊穿的方法判別真空滅弧室是否完全漏氣。
       PC機空制測量、計算漏率、形成測量數據庫。
       內置國內外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線,這是國內外同類產品絕無僅有的。
       當真空滅弧室被高壓擊穿時,VC系列測試儀增加了完善的輸入保護電路。
       增加了電場和磁場的自適應配置。


       測量范圍:1×10-5 ~1×10-1Pa ;
       滅弧室外徑:30~200mm;
       磁控電壓:300~1400V;
       高壓:0~28kV;
       滅弧室開距:1.5~60mm;
       測量誤差:1×10-4~1×10-1 Pa中誤差<10% ;
       測量分辨率:10-5Pa ;
       漏氣的滅弧室在測量中將發生電擊穿;
       允許環溫:0℃~55℃ ;
       空氣濕度:〈85%RH;
       電源:AC220±l0% 。


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